[发明专利]检查光源模块的缺陷的方法和制造光源模块的方法有效
| 申请号: | 201510133011.1 | 申请日: | 2015-03-25 |
| 公开(公告)号: | CN105280510B | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
| 发明(设计)人: | 池元秀;权五锡;朴大绪;K·李 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 张帆;井杰 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | 一种用于检查光源模块的缺陷的方法和制造光源模块的方法,所述用于检查光源模块的缺陷的方法包括制备其上安装有发光器件和覆盖发光器件的透镜的板。将电流施加至发光器件以接通发光器件。在发光器件接通的情况下对透镜成像。基于获得的图像计算表示发光分布相对于透镜的中心的对称性的中心对称性,并且将计算的中心对称性与参考值进行比较以确定是否发生了不对称的发光分布。还提供了用于检查光源模块的各种其它方法和设备。 | ||
| 搜索关键词: | 检查 光源 模块 缺陷 方法 制造 | ||
【主权项】:
1.一种检查光源模块的缺陷的方法,该方法包括步骤:制备其上具有发光器件和覆盖发光器件的透镜的板;将电流施加至发光器件以接通发光器件;在发光器件接通的情况下对透镜成像以获得透镜的图像;执行透镜未对准的检查,以确定是否发生了其中透镜的中心与发光器件的中心偏离的透镜未对准;以及执行不对称发光分布的检查,该检查包括步骤:基于获得的图像计算表示发光分布相对于透镜的中心的对称性的中心对称性;以及将计算的中心对称性与参考值进行比较以确定是否发生了不对称的发光分布。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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