[发明专利]一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件

摘要

一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件，机器人手腕壳体连接在小臂一端，手腕壳体内安装伺服电机，电机带轮安装在伺服电机输出轴上，钢带连接在电机带轮和回转机构带轮之间，回转机构带轮固定在回转机构上，回转机构一端固定在手腕壳体内部，另一端连接真空吸附末端，其中回转机构左端连接真空气管接头。在其他实施例中伺服电机也可用其他电机代替。吸附晶圆时，固定弯管和固定外管内首先产生真空，旋转内管在回转的同时也可产生真空，真空吸附末端中空孔道与真空末端连接轴内孔道产生真空压，依靠内外压差吸附晶圆，实现回转机构自身回转的同时，内部孔道产生真空压。避免线路缠绕，实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计。

主权项

一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件，其特征在于：可翻转末端组件包括手腕壳体(401)、伺服电机(423)、电机带轮(422)、钢带(411)、回转机构(40)、真空吸附末端(3)；机器人手腕壳体(401)连接在小臂(5)一端，手腕壳体(401)内安装伺服电机(423)，电机带轮(422)安装在伺服电机输出轴上，钢带(411)连接在电机带轮(422)和回转机构带轮(410)之间，回转机构带轮(410)固定在回转机构(40)上，回转机构(40)一端固定在手腕壳体(401)内部，另一端连接真空吸附末端(3)，其中回转机构(40)左端连接真空气管接头；在其他实施例中伺服电机也可用其他电机代替；手腕壳体(401)可绕小臂(5)右端回转，手腕壳体(401)内伺服电机(423)带动电机带轮(422)回转，钢带(411)可绕电机带轮(422)和回转机构带轮(410)缠绕，进而驱动回转机构(40)回转，带动真空吸附末端(3)实现翻转动作；上述回转机构(40)包括固定弯管(416)、固定外管(418)、旋转内管(413)、真空轴承(419)、J型真空密封组件a(407)、J型真空密封组件b(415)和真空末端连接轴(409)、深沟球轴承(403)；固定弯管(416)左端连接真空气管接头，右端连接固定外管(418)，固定外管(418)内部同轴安装旋转内管(413)，固定外管(418)和旋转内管(413)之间安装真空轴承(419)支撑，旋转内管(413)与固定外管(418)右端处用J型真空密封组件b(415)密封，以保证回转机构(40)内部真空环境与回转机构(40)外部非真空环境间的密封隔绝；旋转内管(413)伸出端连接真空末端连接轴(409)，真空末端连接轴(409)中间固定回转机构带轮(410)，右端靠一个深沟球轴承(403)支撑在手腕壳体(401)侧壁上，真空末端连接轴(409)右端伸出端连接真空吸附末端(3)；轴承外圈内压盖(402)固定在手腕壳体(401)的内壁上；密封组件内压盖(408)固定在轴承外圈内压盖(402)外端；J型真空密封组件a(407)安装在轴承外圈内压盖(402)内壁上；回转机构带轮(410)带动真空末端连接轴(409)回转，进而带动真空吸附末端(3)的翻转；同时，真空末端连接轴(409)带动旋转内管(413)相对固定外管(418)回转；在吸附晶圆时，固定弯管(416)和固定外管(418)内首先产生真空，旋转内管(413)在回转的同时也可产生真空，真空吸附末端(3)中空孔道与真空末端连接轴(409)内孔道产生真空压，依靠内外压差吸附晶圆，实现回转机构(40)自身回转的同时，内部孔道产生真空压；避免线路缠绕，实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计。