[发明专利]一种表面增强拉曼散射基底及其制备方法在审
| 申请号: | 201510115034.X | 申请日: | 2015-03-17 |
| 公开(公告)号: | CN104789939A | 公开(公告)日: | 2015-07-22 |
| 发明(设计)人: | 张政军;马菱薇 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
| 主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C23C16/455;G01N21/65;B32B15/04;B32B9/04 |
| 代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 朱琨 |
| 地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了属于痕量有机物检测技术领域的一种表面增强拉曼散射基底及其制备方法。本发明的表面增强拉曼散射基底,在基片表面设置银纳米棒阵列,银纳米棒阵列表面设置非晶态氧化物薄膜。本发明首先在基片表面制备银纳米棒阵列,得到纯银基底;然后采用原子层沉积技术在纯银基底的银纳米棒阵列表面均匀沉积一层非晶态氧化物薄膜,得到上述表面增强拉曼散射基底。本发明的表面增强拉曼散射基底在400℃退火后的形貌及拉曼信号强度均不发生明显变化,具有良好的表面增强拉曼效应和优异的热稳定性,可应用于高温条件下的检测,扩展了表面增强拉曼效应的应用范围。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 表面 增强 散射 基底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种表面增强拉曼散射基底,其特征在于,在基片表面设置银纳米棒阵列,银纳米棒阵列表面设置非晶态氧化物薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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