[发明专利]整体三维结构模板、三维结构材料及其可控制备方法有效

专利信息
申请号: 201510112293.7 申请日: 2015-03-16
公开(公告)号: CN106032266B 公开(公告)日: 2017-10-03
发明(设计)人: 孔涛;肖淼;王炜;张杰;程国胜 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81B1/00
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256 代理人: 王锋
地址: 215123 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种整体三维结构模板、三维结构材料及其可控制备方法。该可控制备方法包括在衬底表面依次形成牺牲层和种子层,并在种子层上加工出设定图案结构;在种子层上形成材料生长模板,而后去除所述牺牲层和种子层,获得单层材料生长模板;将复数单层材料生长模板以设定角度和方向对准,并使各单层材料生长模板之间相互作用形成整体三维结构模板;以及,基于所述整体三维结构模板生长形成三维结构材料。藉由本发明的工艺,能够精确制备出形状和尺寸可控的三维模板,进而可以制备出精确可控的三维结构材料,且对不同种类的单原子层二维材料组装成三维宏观结构材料具有普适性,适用于超级传感器,太阳能电池等材料能源领域。
搜索关键词: 整体 三维 结构 模板 材料 及其 可控 制备 方法
【主权项】:
一种三维结构材料的可控制备方法,其特征在于包括:在衬底表面依次形成牺牲层和种子层,并在种子层上加工出设定图案结构;在种子层上形成材料生长模板,而后去除所述牺牲层和种子层,获得单层材料生长模板;将复数单层材料生长模板以设定角度和方向对准,并使各单层材料生长模板之间相互作用形成整体三维结构模板;以及,基于所述整体三维结构模板生长形成三维结构材料。
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