[发明专利]背照式TDI图像传感器及其电子快门控制方法

摘要

本发明涉及一种背照式TDI图像传感器及其电子快门控制方法，该传感器包括衬底，制备于衬底上的沟道，以及制备于沟道上的呈行列排布的栅极；所述衬底内包含沿栅极列向间隔排布的阻隔层；阻隔层与衬底的接触面形成PN结；阻隔层上方为存储栅极区，相邻阻隔层间隔处上方为积分栅极区，存储栅极区与积分栅极区之间为隔离栅极区。通过时序控制，使得积分时间内收集并累加的电荷作为有效电荷被读出，而在存储时间内，阻隔层之下产生的电荷通过漂移或扩散效应进入栅极之下的相邻电荷收集区内，不会被积累成为有效的信号电荷。本发明通过在衬底内间隔排布阻隔层的方法减小积分时间，能够有效降低运动模糊效应。

主权项

一种背照式TDI图像传感器，包括衬底(101)，制备于衬底(101)上的沟道(102)，以及制备于沟道(102)上的呈行列排布的栅极；其特征在于所述衬底(101)内包含沿栅极列向间隔排布的阻隔层(103)；阻隔层(103)与衬底(101)的接触面形成PN结，且阻隔层(103)中心区域掺杂浓度ηb≥1000ηs，ηs为衬底掺杂浓度；阻隔层(103)上方的栅极区为存储栅极区，相邻阻隔层间隔处上方的栅极区为积分栅极区，存储栅极区与积分栅极区之间的栅极区为隔离栅极区；存储栅极区、积分栅极区、隔离栅极区均至少包含一行栅极。