[发明专利]一种太阳能电池钝化减反薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201510109372.2 | 申请日： | 2015-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN105280729A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 盛赟;蔡文浩 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 郭小丽 |
| 地址： | 213031 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池钝化减反膜，包括依次设置于太阳能电池受光面发射结上的三氧化二铝层、氧化硅层、氟化镁层。同时，本发明还公开了一种用于生产所述太阳能电池钝化减反膜的制备方法，包括如下步骤：（1）清洗太阳能电池受光面发射结表面；（2）在太阳能电池表面，通过等离子增强化学气相沉积或原子层沉积方法制备三氧化二铝层；（3）在三氧化二铝层上，通过等离子增强化学气相沉积、或电子束蒸镀、或溅射方法制备氧化硅层；（4）在氧化硅层上，通过溅射或激光脉冲沉积方法制备氟化镁层；（5）对制备的薄膜实施退火。本发明的钝化减反膜具有较好的光学减反特性，有利于提高太阳能电池的转换效率，适合于太阳能电池的大规模制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 钝化 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池钝化减反膜，包括依次设置于太阳能电池受光面发射结上的三氧化二铝层、氧化硅层、氟化镁层。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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