[发明专利]一种基于二维光栅结构的全金属增透系统有效
| 申请号： | 201510108550.X | 申请日： | 2015-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN104777528B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 曲俞睿;李强;仇旻 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B1/11 | 分类号： | G02B1/11 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于二维光栅结构的全金属增透系统。在光电子领域中，器件表面经常需要镀一层金属薄膜做电极或增加导电性，金属薄膜本身对入射光的低透过率和高反射率使得极少量入射光到达器件本身，影响器件本身的性能。本发明首次提出全金属结构的增透系统，通过在金属薄膜表面制作二维光栅结构，激发金属薄膜表面等离子激元共振，实现对特定入射波长的数倍的增透作用，极大改善了器件的性能，对于光电子技术的发展具有极大的促进作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二维 光栅 结构 全金属 系统 | ||
【主权项】：
一种基于二维光栅结构的全金属增透系统，其特征在于沿光线传播方向依次包括二维光栅结构、金属薄膜、透明衬底，其中二维光栅结构采用金属材料；所述的二维光栅结构由与金属薄膜相同的金属材料构成；所述的二维光栅结构高度为30～80nm,金属薄膜厚度小于50nm；所述的二维光栅结构在金属薄膜表面呈周期性阵列分布。
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