[发明专利]一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法

摘要

本发明涉及多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，包括以下步骤：将还原系统尾气直接送入冷氢化反应系统中，并往冷氢化反应系统中注入氢气，注入氢气的体积占冷氢化反应系统中气体体积总量的15‑21％；通过冷氢化反应系统对还原系统尾气和氢气进行加热，加热温度为540‑560℃；将经过加热后的还原系统尾气和氢气输入到冷氢化反应器中，进行氢化反应，使还原系统尾气中的四氯化硅与氢气反应直接转化成三氯氢硅，并通过冷氢化反应器中的纯化装置将还原系统尾气中的二氯二氢硅转换成三氯氢硅。该方法把还原炉中排出的尾气不降温不分离不解析，而是作为原料直接进行氢化反应，因此，可以缩短工艺流程，起到节能降耗的目的。

主权项

1.一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，其包括以下步骤：(1)、对多晶硅生产中的还原炉进料方法进行优化，也就是，将往还原炉中进料分成三个阶段，即，初始进料阶段、平稳进料阶段和快速进料阶段；其中，所述初始进料阶段为进料的前20个小时，即，该阶段的进料时间为从第0小时到第20小时，在所述初始进料阶段中，进料量为从0kg到800kg，即，该阶段开始时进料量为0kg，到该阶段结束时，进料总量为800kg，同时，在该阶段的整个进料过程中使得单位时间内进料量随着时间的增加成正比例地增加，即，开始时单位时间内进料量最少，结束时单位时间内进料量最多，且从开始到结束单位时间内进料量与时间成正比例地增加；所述平稳进料阶段处于所述初始进料阶段之后，该阶段的进料时间为从第20小时到第60小时，在所述平稳进料阶段中，进料量为从800kg到1200kg，即，该阶段开始时还原炉内的原料为800kg，到该阶段结束时，还原炉内的原料为1200kg，同时，在该阶段的整个进料过程中使得进料量随着时间的增加均匀地增加，即，在该阶段的整个进料过程中，单位时间内进料量是相同的，随着时间的增加，单位时间内进料量保持不变；所述快速进料阶段处于所述平稳进料阶段之后，该阶段的进料时间为从第60小时到第100小时，在所述快速进料阶段中，进料量为从1200kg到2100kg，即，该阶段开始时还原炉内的原料为1200kg，到该阶段结束时，还原炉内的原料为2100kg，同时，在该阶段的整个进料过程中使得单位时间内进料量随着时间的增加成正比例地减少，即，开始时单位时间内进料量最多，结束时单位时间内进料量最少，且从开始到结束单位时间内进料量与时间成正比例地减少；(2)、将还原系统尾气直接送入冷氢化反应系统中，并往所述冷氢化反应系统中注入氢气，其中，注入氢气的体积占所述冷氢化反应系统中气体体积总量的15‑21％；(3)、通过所述冷氢化反应系统对所述还原系统尾气和氢气进行加热，加热温度为540‑560℃；(4)、将经过所述冷氢化反应系统加热后的还原系统尾气和氢气输入到冷氢化反应器中，进行氢化反应，使还原系统尾气中的四氯化硅与氢气反应直接转化成三氯氢硅，并通过所述冷氢化反应器中的纯化装置将还原系统尾气中的二氯二氢硅转换成三氯氢硅。