[发明专利]MEMS加速度计在审
| 申请号： | 201510101512.1 | 申请日： | 2015-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN106033090A | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈罗平 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS加速度计，所述MEMS加速度计包括加速度传感器和加速度变化信号读出电路，其中，所述加速度变化信号读出电路包括模拟电路模块和数字电路模块，所述数字电路模块包括数字低通滤波器。本发明所提供的MEMS加速度计在读出电路中加入数字低通滤波器，能够有效降低MEMS加速度计的噪声，实现低噪声加速度计。 | ||
| 搜索关键词： | mems 加速度计 | ||
【主权项】：
一种MEMS加速度计，其特征在于，所述MEMS加速度计包括加速度传感器和加速度变化信号读出电路，其中，所述加速度变化信号读出电路包括模拟电路模块和数字电路模块，所述数字电路模块包括数字低通滤波器。
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