[发明专利]基于手套箱的真空紫外光源测试系统

摘要

本发明属于紫外光源测试技术领域，具体为一种基于手套箱的真空紫外光源测试系统。本发明系统包括高低温恒温手套箱、灯架和紫外辐射测试设备等。所述的手套箱具有一个观察窗，外部装有挡光设施；同时设有若干个辐射测试窗口；其余内表面进行黑化处理。手套箱内至少装有测量水蒸汽、氧气含量的探头和分析仪，并附设有恒温水浴的水循环回路以控制光源的管壁温度或冷端温度。手套箱的过渡舱采用折叠结构，长度可以调整。灯架位于手套箱内。紫外辐射测试设备包括紫外辐照度计、光谱仪或单色仪，用于测量紫外辐射和200nm以下的真空紫外辐射。本发明为各种线性紫外光源的真空紫外辐射效率的评估提供一种简便、可靠、准确的测量手段，可用于真空紫外光源的研究开发、生产制造和品质评价。

主权项

基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：包括高低温恒温手套箱、灯架和紫外辐射测试设备，其中：所述手套箱具有一个观察窗，用于观测手套箱内的操作状态，其外侧装有可开合的挡光设施，正常实验测试时用于遮挡手套箱外部的光线，避免杂散光干扰导致的测量误差；同时设有若干个辐射测试窗口，也作为观测窗；手套箱其余内表面进行黑化处理；所述紫外辐射测试设备包括若干紫外辐照度计、光谱仪、单色仪，用于测量紫外辐射；所述灯架位于手套箱内，是固定式或者是旋转式，灯架的高度可以调节。