[发明专利]一种氮化镓基谐振腔气体传感器的制备方法有效
| 申请号： | 201510094227.1 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN104634767B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张保平;翁国恩;梅洋;张江勇;应磊莹 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙)35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种氮化镓基谐振腔气体传感器的制备方法，涉及气体传感器。在蓝宝石衬底GaN基外延片上制作图形化分布布拉格反射镜，然后在表面蒸发或溅射第一含金属层；在衬底表面蒸发或溅射第二含金属层；将第一含金属层和第二含金属层贴合，在真空或氮气氛围下键合，再通过激光剥离技术去除蓝宝石衬底；对去除蓝宝石衬底后的GaN基外延片进行器件分离，形成二维阵列结构，接着蒸发或溅射金属电极、分布布拉格反射镜，最后沉积聚合物涂层，完成器件制作。探测灵敏度高，易于制作成二维阵列结构，达到同时检测多种气体的目的，成本低，效率高。基于氮化镓基谐振腔结构，利用器件谐振发光波长的移动确定被检测气体含量，原理简单，制作容易且探测灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 谐振腔 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化镓基谐振腔气体传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)在蓝宝石衬底GaN基外延片上制作图形化分布布拉格反射镜，然后在表面蒸发或溅射第一含金属层；2)在蓝宝石衬底表面蒸发或溅射第二含金属层；3)将第一含金属层和第二含金属层贴合，在真空或氮气氛围下键合，再通过激光剥离技术去除蓝宝石衬底；4)对去除蓝宝石衬底后的GaN基外延片进行器件分离，形成二维阵列结构，接着蒸发或溅射金属电极、分布布拉格反射镜，最后沉积聚合物涂层，完成器件制作。
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