[发明专利]一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

摘要

本发明公开了一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、两组冷辊、纠偏装置和回转换靶装置，开卷机构和收卷机构之间的基带经过设于真空室内的换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上，开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置；每组冷辊的包覆有基带的圆周面上至少对应设置两组回转换靶装置，每组回转换靶装置与对应的冷辊之间均设置有一组两面开口的阴极小室；开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开真空室的情况下即可及时更换靶材，并利用双冷辊及基材的往复运动设计实现了双面多层膜层的连续镀制，大大提高了镀膜机双面镀膜的效率；结构紧凑，占地空间小。

主权项

一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空室（1）、开卷室（2）、设于开卷室（2）内的开卷机构（201）、收卷室（9）、设于收卷室（9）内的收卷机构（901）和设于真空室（1）内的两组冷辊（8），其特征在于：还包括纠偏装置（3）和回转换靶装置（10），所述的开卷室（2）与真空室（1）之间、收卷室（9）与真空室（1）之间均设置有闸板阀（4），所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）之间的基带（6）经过设于真空室（1）内的换向辊（7）换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊（8）上，所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）处各设置一组纠偏装置（3），且所述的纠偏装置（3）位于开卷室（2）和收卷室（9）内；每组所述的冷辊（8）的包覆有基带（6）的圆周面上至少对应设置两组回转换靶装置（10），每组所述的回转换靶装置（10）与对应的冷辊（8）之间均设置有一组两面开口的阴极小室（11），且每组回转换靶装置（10）、阴极小室（11）和对应的冷辊（8）位于同一轴线上；所述的回转换靶装置（10）包括机座（1001）、通过回转机构连接于机座（1001）上的回转盘（1003）、通过径向伸缩机构（1004）均匀分布于回转盘（1003）上的两个以上的用于安装靶芯（12）的极靶座板（1005），所述的回转换靶装置（10）的机座（1001）上还设置有沿回转盘（1003）轴向伸缩的轴向伸缩机构（1002），用于将回转盘（1003）移至真空室（1）外部；所述的极靶座板（1005）旋转到阴极小室（11）的对应开口处，向外伸出并嵌入阴极小室（11）内；所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）带动基带（6）往复运动。