[发明专利]一种双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机有效
| 申请号： | 201510066782.3 | 申请日： | 2015-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN104611682A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 朱锡芳;杨辉;许清泉;陈功;徐安成 | 申请（专利权）人： | 常州工学院 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 高桂珍 |
| 地址： | 213022 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、两组冷却辊、收卷机构、回转换靶装置和纠偏装置，开卷机构和收卷机构之间的基带经过换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷却辊上，开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置；两组冷却辊缠绕有基带的圆周表面上各对应设置有一组两面开口的阴极小室，两组阴极小室各对应设置一组回转换靶装置；开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶，并利用双冷却辊及基材的往复运动设计实现了双面多层膜层的连续镀制，简化了镀膜机的电气控制装置及程序，提高了镀膜效率；结构紧凑，占地空间小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 往复 连续 镀膜 磁控溅射 卷绕 | ||
【主权项】：
一种双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空室(1)、依次设于真空室(1)内的开卷机构(2)、两组冷却辊(7)和收卷机构(8)，其特征在于：还包括回转换靶装置(11)和纠偏装置(4)，所述的开卷机构(2)和收卷机构(8)之间的基带(3)经过换向辊(6)换向后呈“S”形缠绕于两组冷却辊(7)上，所述的开卷机构(2)和收卷机构(8)处各设置一组纠偏装置(4)；所述的两组冷却辊(7)缠绕有基带(3)的圆周表面上各对应设置有一组两面开口的阴极小室(9)，所述的两组阴极小室(9)各对应设置一组回转换靶装置(11)，且每组回转换靶装置(11)、阴极小室(9)和冷却辊(7)位于同一轴线上；所述的回转换靶装置(11)包括机座(1101)、通过回转机构连接于机座(1101)上的回转盘(1103)、通过径向伸缩机构(1104)均匀分布于回转盘(1103)上的两个或两个以上的用于安装靶芯(10)的极靶座板(1105)；所述的极靶座板(1105)旋转到阴极小室(9)的对应开口处，并向外伸出将靶芯(10)嵌入阴极小室(9)内；所述的开卷机构(2)和收卷机构(8)带动基带(3)往复运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州工学院，未经常州工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510066782.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
