[发明专利]对测量台进行电启动的方法以及支承测量探头的测量台有效

专利信息
申请号: 201510062730.9 申请日: 2015-02-06
公开(公告)号: CN104833299B 公开(公告)日: 2020-02-14
发明(设计)人: H.菲舍尔 申请(专利权)人: 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所
主分类号: G01B7/06 分类号: G01B7/06
代理公司: 72001 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 李强;谭祐祥
地址: 德国辛*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及对测量台进行电启动的方法以及支承测量探头的测量台。本发明涉及对测量台进行电启动而使至少一个测量探头(26)从开始位置(31)运动到测量位置(32)的方法,而且本发明还涉及用于支承特别是用于测量薄层的厚度的测量探头的测量台,其中,马达(34)由控制组件(25)启动,控制组件(25)通过传动组件(35)使冲杆(23)上下运动,其中,固持器(24)设置在冲杆(23)上,测量探头(26)可紧固到固持器上,其中,测量探头(26)或固持器(23)一旦下放在待测物品(14)上的测量位置(32)上,就启动在传动组件(35)和冲杆(33)之间的飞轮,而且传动组件(35)的运动与冲杆(23)的竖向运动脱开,其中,在到达测量位置(32)之前,至少一个测量探头(14)从开始位置(31)运动到测量位置(32)的速度通过机械阻尼作用或电阻尼作用降低。
搜索关键词: 测量 进行 启动 方法 以及 支承 探头
【主权项】:
1.一种对测量台进行电启动而使至少一个测量探头(26)从开始位置(31)运动到测量位置(32)以便测量薄层的厚度的方法,/n其中,马达(34)由控制组件(25)启动,所述控制组件(25)通过传动组件(35)来使冲杆(23)上下运动,其中,在所述冲杆(23)上提供固持器(24),所述测量探头(26)可紧固到所述固持器上,/n其中,所述测量探头(26)或固持器(23)一旦下放在待测物品(14)上的测量位置(32)上,就启动在所述传动组件(35)和所述冲杆(23)之间的飞轮,并且所述传动组件(35)的运动与所述冲杆(23)的竖向运动脱开,/n其特征在于,/n在到达所述测量位置(32)之前,所述至少一个测量探头(14)从所述开始位置(31)运动到所述测量位置(32)的速度通过机械阻尼作用降低,所述机械阻尼作用由具有调节部件(92)的阻尼组件(91)启动,所述阻尼组件具有阻尼部件(93),所述阻尼部件(93)保持恒定,或者随着沉浸到所述阻尼部件(93)中的距离增大而降低所述调节部件(92)的沉浸速度,/n其中,通过所述马达(34)的传动轴来驱动枢轴杠杆(95),所述枢轴杠杆(95)与所述传动组件(35)的托架(54)接合,并且定向成使得在开始时在所述托架(54)上产生高运动速度且该速度朝运动的终点降低,其中提升力然后增大。/n
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