[发明专利]晶片搬运牵引控制系统

摘要

本发明提供了晶片搬运牵引控制系统，该系统能够检测半导体晶片相对于末端执行器的滑移且能够调整该末端执行器的移动以便使进一步的滑移降至最少。在检测到半导体晶片相对于末端执行器的相对移动超越阈值量时，末端执行器的移动被调整以使半导体晶片的滑移降至最少。该晶片搬运牵引控制系统可包括检测半导体晶片和末端执行器之间的相对移动的传感器。

主权项

一种半导体晶片搬运装置，其包括：被配置为将第一半导体晶片支撑在第一末端执行器上的第一机械臂；被配置为检测所述第一半导体晶片和所述第一末端执行器之间的相对移动的第一传感器；和具有一或多个处理器以及存储器的控制器，其中所述一或多个处理器、所述存储器、所述第一机械臂和所述第一传感器被通信连接且所述存储器存储用于控制所述一或多个处理器以执行以下操作的程序指令：a)当所述第一半导体晶片被所述第一末端执行器支撑时使所述第一机械臂按照第一加速度型线移动，b)接收来自所述第一传感器的第一传感器数据，c)分析所述第一传感器数据以基于在所述第一半导体晶片被所述第一末端执行器支撑时在所述第一机械臂的移动过程中所述第一半导体晶片相对于所述第一末端执行器的相对移动来确定第一移动数据，d)确定能归因于按照所述第一加速度型线的所述第一机械臂的移动的第一移动数据是否超过第一阈值移动度量值，以及e)当能归因于按照所述第一加速度型线的所述第一机械臂的移动的第一移动数据超过所述第一阈值移动度量值时使所述第一机械臂按照第二加速度型线移动，其中能归因于按照所述第二加速度型线的所述第一机械臂的移动的第一移动数据保持在所述第一阈值移动度量值内；其中：所述第一加速度型线是第一校准加速度型线，并且所述第二加速度型线是第二校准加速度型线。