[发明专利]一种光探测植入式传感器及其制作方法及其控制系统有效
| 申请号: | 201510043471.5 | 申请日: | 2015-01-28 |
| 公开(公告)号: | CN104600149B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
| 发明(设计)人: | 胡启方;徐小宇;陈岚;任卓翔 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | H01L31/173 | 分类号: | H01L31/173;H01L31/18;A61B5/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 王宝筠 |
| 地址: | 100029 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种光探测植入式传感器及其制作方法及其控制系统,所述传感器包括发光器件,所述发光器件用于向人体组织内发射设定强度的探测光线;感光器件,所述感光器件用于获取经过人体组织反射后的探测光线的光强信息;其中,所述发光器件与所述感光器件形成在同一衬底的正面。所述传感器的发光器件与感光器件采用同一衬底制备,提高了传感器的集成度,降低了体积。本申请所述制作方法能够制备所述传感器,制作工艺简单,所述控制系统采用所述传感器,控制方法简单,植入创伤小。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 探测 植入 传感器 及其 制作方法 控制系统 | ||
【主权项】:
一种光探测植入式传感器,其特征在于,所述传感器用于植入人体组织内,所述传感器包括:发光器件,所述发光器件用于向人体组织内发射设定强度的探测光线;感光器件,所述感光器件用于获取经过人体组织反射后的探测光线的光强信息;其中,所述传感器的发光器件以及感光器件采用同一衬底制备,所述发光器件与所述感光器件形成在所述同一衬底的正面;所述衬底为蓝宝石衬底;所述发光器件为背发光LED,所述背发光LED发射的探测光线穿过所述蓝宝石衬底,通过所述蓝宝石衬底的背面出射;并且,所述发光器件与所述感光器件倒装焊互联。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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