[发明专利]一种调焦调平装置及测量方法

摘要

本发明公开一种调焦调平装置，包括：一照明单元，用于输出多路照明光束；一投影单元，用于将该多路照明光束依次引导至被测硅片上的多个不同的测量标记；一探测单元，用于依次接受该多个不同的测量标记的反射光。本发明同时公开一种调焦调平测量方法。

主权项

1.一种调焦调平装置，其特征在于，包括：一照明单元，用于输出多路照明光束；一投影单元，用于将所述多路照明光束依次引导至被测硅片上的多个不同的测量标记；一探测单元，用于依次接受所述多个不同的测量标记的反射光；所述投影单元和探测单元均包括补偿棱镜，所述投影单元的所述补偿棱镜用于将所述多路照明光束引出，所述探测单元的所述补偿棱镜用于将所述引出的多路照明光束对应收集；所述投影单元还包括斩波器和标记板，所述标记板上有多个位置不在同一直径上的测量标记，所述斩波器用以实现将经过所述多个测量标记后的所述多路照明光束，依次透射给所述投影单元的所述补偿棱镜；所述探测单元包括一个CCD相机，所述一个CCD相机能够依次接受所述多路照明光束经过所述被测硅片上的所述多个不同的测量标记形成的所述反射光；所述探测单元沿光线传播的方向依次包括第一探测透镜组、孔径光阑、第二探测透镜组、补偿棱镜、半透半反射镜组、中继透镜组、柱面镜组。