[发明专利]半导体元件及其制作方法在审
申请号: | 201510038256.6 | 申请日: | 2015-01-26 |
公开(公告)号: | CN105895666A | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 廖伟明 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L21/82;H01L21/336 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体元件及其制作方法,其中半导体元件具有颈部鳍结构。半导体元件包括一基底;多数个鳍结构,设在该基底上,其中,各该鳍结构具有一下部分和一颈部上部分;以及一绝缘体,设置在该多数个鳍结构之间,与该鳍结构的下部分齐平。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种半导体元件,其特征在于包含:一基底;多数个鳍结构,设在所述基底上,其中,各所述鳍结构具有一下部分和一颈部上部分;以及一绝缘体,设置在多数个所述鳍结构之间,与所述鳍结构的下部分齐平。
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