[发明专利]可视化自动空跳晶圆挑粒机及其操作方法

摘要

本发明涉及一种可视化自动空跳晶圆挑粒机，包括放料测试系统、接合系统以及晶圆测试系统，其中放料测试系统包括托盘PR投影机构、第一测光辅助灯以及托盘工作台；接合系统包括机械臂、电磁阀真空吸吹管和摆臂电机；晶圆测试系统包括离子枪、晶圆PR投影机构、第二测光辅助灯、晶圆、晶圆工作台、内环固定环、顶针组件、XY丝杆以及电机。本发明提供的装置可以在晶圆芯片缺失时实现自动空跳，改变设备厂家本身的功能，创新出新的功能，使自动化更便捷且效率高。本发明提供的装置节省了缺失和空行断行的晶圆而浪费的时间，且无需手动镊子去夹取，无需让设备停下来去完成设备自身不能完成的动作，忽略了消点和补点的繁琐困扰。

主权项

一种可视化自动空跳晶圆挑粒机，其特征在于，包括放料测试系统、接合系统以及晶圆测试系统，所述放料测试系统通过所述接合系统与所述晶圆测试系统连接，其中：所述放料测试系统包括托盘PR投影机构、第一测光辅助灯以及托盘工作台，所述托盘PR投影机构与所述托盘工作台电连接；所述接合系统包括机械臂、电磁阀真空吸吹管和摆臂电机，其中所述机械臂与所述摆臂电机连接，所述电磁阀真空吸吹管设置在所述机械臂上，所述第一测光辅助灯可转动地固定在所述摆臂电机上；所述晶圆测试系统包括离子枪、晶圆PR投影机构、第二测光辅助灯、晶圆、晶圆工作台、内环固定环、顶针组件、XY丝杆以及电机，其中所述内环固定环和所述顶针组件位于所述晶圆工作台内；所述顶针组件包括顶针、顶针帽机构和顶针座机构，所述顶针与顶针帽机构连接，所述顶针帽机构与所述顶针座机构连接，所述顶针座机构与所述电机连接；所述XY丝杆与所述电机连接；所述离子枪靠近所述晶圆PR投影机构，所述离子枪位于所述晶圆的上方；其中，所述第一和/或第二测光辅助灯为LED测光灯；所述机械臂左右旋转带动所述电磁阀真空吸吹管对所述晶圆表面的芯片进行吸附。