[发明专利]一种微型压电和电容复合振动能量采集器

摘要

本发明涉及一种微型压电和电容复合振动能量采集器，属于微机电系统和微能源技术领域。压电能量采集单元与支撑体上部连接，该支撑体下部键合在基体上，在该支撑体的内部有电容能量采集单元，该电容能量采集单元中有电解质。优点是既采用同一机构实现了两种不同机制的能量采集，以达到对输出能量叠加放大的效果，又通过对压电和电容能量采集单元的结构提高了器件的能量转换效率，可高效率的实现宽频带振动能量的采集，尤其适用于低频小振幅环境振动的能量采集。

主权项

一种微型压电和电容复合振动能量采集器，其特征在于：压电能量采集单元与支撑体上部连接，该支撑体下部键合在基体上，在该支撑体的内部有电容能量采集单元，该电容能量采集单元中有电解质；所述压电能量采集单元结构是：蛛网状压电薄膜上部沉积有上电极、下部沉积有下电极，该下电极与支撑材料固定连接，上电极与导线一连接，下电极与导线二连接，该支撑材料下部固定连接质量块；所述电容能量采集单元包括上极板和下极板，下极板与基体固定连接，所述下极板采用阶梯结构，上极板与支撑材料下部连接，上极板与导线三连接，下极板与导线四连接。