[发明专利]光纤法珀压力传感器及其制作方法有效
申请号: | 201510026101.0 | 申请日: | 2015-01-19 |
公开(公告)号: | CN104614104B | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 贾平岗;熊继军;梁庭;谭秋林;吴斌;房国成 | 申请(专利权)人: | 中北大学;中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24;G01L11/02 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司11129 | 代理人: | 谢殿武 |
地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种制作简单、成本低廉的全石英光纤法珀高温压力传感器及其制作方法。通过机械加工方法对石英进行加工,通过高温焰火熔接,将带有光纤的套管管插入预留的孔径中熔接固定形成全石英法珀压力传感器。传感器各部分采用机械加工,膜片尺寸、法珀腔尺寸容易控制。采用石英材料加工传感器,使传感器温度系数小,能适应高温、强酸碱等复杂恶劣的环境。 | ||
搜索关键词: | 光纤 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种光纤法珀压力传感器,其特征在于:包括石英膜片、带凸台的石英固定基座、光纤、石英光纤套管、石英光纤定位装置和石英垫片;石英膜片、石英垫片、石英光纤定位装置和石英固定基座依次连接在一起;光纤通过石英光纤套管固定于石英固定基座内并且光纤出光面和石英膜片上的反射面平行设置构成法珀腔;所述光纤出光面设有梯度折射率GRIN透镜,GRIN透镜外圆与带凸台的石英固定基座内孔匹配,光纤与梯度折射率GRIN透镜的连接可以采用熔接或粘接方法;石英膜片内端面抛光或镀半反半透膜;所述光纤出光面进行切平、抛光或者镀半反半透膜处理;石英膜片、带凸台的石英固定基座、石英光纤定位装置和石英垫片通过机械加工方法,采用高温火焰熔接、激光熔接和MEMS技术进行各部件连接;所述石英光纤定位装置通过机械加工方法、激光加工方法或者MEMS加工方法进行加工;所述带凸台的石英固定基座的内孔通过熔融拉制方法进行加工;在石英垫片中心制造圆孔,其内孔决定石英膜片的固定直径,在石英光纤定位装置中心钻一与光纤同径的定位孔;切割石英固定基座,形成凸台,在中心机械加工与光纤套管外直径相同的孔;按石英膜片、石英垫片、石英光纤定位装置、石英基座从下往上的顺序依次叠放,采用氢氧焰火高温方法熔接;将插入且固定光纤的光纤套管插入石英基座中心孔中,使用凸台高温熔接,使光纤出光面和敏感石英膜片上的反射面平行放置。
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