[发明专利]基于聚合物长周期波导光栅的生化传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于聚合物长周期波导光栅的生化传感器及其制备方法，生化传感器包括从下往上依次层叠的硅基层、下包层、芯层和上包层，所述上包层设有液体通道，芯层包括直波导，以及与直波导一侧相连并延伸进入液体通道的第一长周期光栅和第二长周期光栅；此外，该制备方法采用掩膜版一和掩膜板二，结合磁控溅射工艺、光刻工艺、湿法刻蚀工艺、干法刻蚀工艺等，可以方便快捷的制备上述生化传感器；本发明的生化传感器相对于传统生化传感器，具有尺寸小、结构简单、灵敏度高、检测快速、成本低、便于集成、检测多样性的优点。

主权项

一种基于聚合物长周期波导光栅的生化传感器，其特征在于:包括从下往上依次层叠的硅基层(1)、下包层(2)、芯层(3)和上包层(4)，所述上包层(4)设有液体通道(41)，芯层(3)包括直波导(31)，以及与直波导(31)一侧相连并延伸进入液体通道(41)的第一长周期光栅(32)和第二长周期光栅(33)；液体通道(41)用于容纳被测液体，将直波导(31)入射光波中以谐振波长为中心的光通过第一长周期光栅(32)耦合进入被测液体，经过第二长周期光栅(33)再将此部分光耦合进入直波导(31)，与直波导(31)中同向传输的基模干涉输出。