[发明专利]半导体激光器阵列

摘要

一种半导体激光器阵列。本发明的目的在于能够以简易的结构降低散斑噪声。作为解决手段，本发明的半导体激光器阵列(1)具有的多个激光元件(第1～第5激光元件20a、20b、20c、20d、20e)以激光元件的波导并排的方式配置，多个激光元件分别在作为波导的光出射面的前端面具有前端面反射膜(5、6)，多个激光元件在后端面具有后端面反射膜(7)，所述后端面是隔着波导的前端面相反侧的面，在多个激光元件中，至少两个激光元件的前端面反射膜(5、6)的反射率不同，在多个激光元件中，后端面反射膜(7)的反射率相等，多个激光元件由单一电源驱动。

主权项

一种半导体激光器阵列，其具有多个激光元件，其特征在于，所述多个激光元件被配置为所述激光元件的波导并排，所述多个激光元件分别在作为所述波导的光出射面的前端面具有前端面反射膜，所述多个激光元件分别在后端面具有后端面反射膜，该后端面是隔着所述波导与所述前端面相反侧的面，在所述多个激光元件中，至少两个所述激光元件的所述前端面反射膜的反射率不同，在所述多个激光元件中，所述后端面反射膜的反射率相等，所述多个激光元件由单一电源驱动，所述多个激光元件包含第1组和第2组，构成所述第1组的所述激光元件的所述前端面反射膜具有第1反射率，构成所述第2组的所述激光元件的所述前端面反射膜具有第2反射率，所述第1反射率大于所述第2反射率，在所述激光元件的输出随着所述前端面反射膜的反射率的增大而增大的情况下，构成所述第1组的所述激光元件的个数少于构成所述第2组的所述激光元件的个数，在所述激光元件的输出随着所述前端面反射膜的反射率的增大而减小的情况下，构成所述第1组的所述激光元件的个数多于构成所述第2组的所述激光元件的个数。