[发明专利]外表沉积SiBCN涂层的莫来石纤维及其制备方法

摘要

本发明公开了一种外表沉积SiBCN涂层的莫来石纤维，包括莫来石纤维基体和在基体上沉积的SiBCN涂层，SiBCN涂层是以硼吖嗪和液态聚碳硅烷为原料通过化学气相沉积工艺制备得到；其制备方法包括将莫来石纤维沉积件置于溶剂中清洗；清洗后浸没于莫来石溶胶中进行超声分散，再在气氛环境下高温处理，并放入沉积炉内；置换沉积炉内的空气；然后在设定的真空度和温度下预热；导入载气和稀释气，载气将硼吖嗪和液态聚碳硅烷载入，并通过稀释气稀释，二者在沉积炉炉膛内分解出的SiBCN逐步沉积于莫来石纤维沉积件表面并形成SiBCN涂层。本发明产品的涂层均匀、致密、表面光滑，高温稳定性好，可提高产品的抗氧化能力。

主权项

一种外表沉积SiBCN涂层的莫来石纤维的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将莫来石纤维沉积件置于有机溶剂中超声清洗；（2）将超声清洗后的莫来石纤维沉积件浸没于莫来石溶胶中，然后进行超声分散；（3）取出超声分散后的莫来石纤维沉积件，在气氛环境下高温处理后，放入沉积炉炉膛内；（4）对沉积炉炉膛抽真空，再充入氮气，反复进行多次，置换沉积炉炉膛内的空气；（5）将沉积炉炉膛抽至设定真空度，然后升温至设定温度预热；（6）待温度稳定后，导入载气和稀释气；载气以鼓泡的形式将硼吖嗪和液态聚碳硅烷载入，并通过稀释气稀释后进入沉积炉炉膛内，二者在沉积炉炉膛内分解出的SiBCN逐步沉积于莫来石纤维沉积件表面，一段时间后在莫来石纤维沉积件表面形成SiBCN涂层；（7）沉积结束后，停止导入载气及稀释气，关闭加热系统，随炉冷却至室温，即得外表沉积SiBCN涂层的莫来石纤维。