[发明专利]一步完成扩散、表面钝化和减反射的太阳电池制备方法

摘要

本发明属于太阳能光伏电池技术领域，具体为一种一步完成扩散、表面钝化和减反射的太阳电池制备方法。具体步骤包括半导体片表面旋涂或喷涂扩散源，或者采用气态源；半导体片在空气中加热，同时形成p-n结、上下表面钝化层和减反射膜；制备上下电极。本发明在保证电池较高转化效率的同时，极大地简化了太阳电池的制备工艺，并且对设备要求低、制备过程安全无毒，是一种过程简单、成本低廉的太阳电池制备方法。

主权项

?一步完成扩散、表面钝化和减反射的太阳电池制备方法，其特征在于具体步骤为：（1）半导体片表面旋涂或喷涂扩散源；所述扩散源为磷或硼的液态源；（2）半导体片在空气或氧气中加热，温度为600℃?1000℃，时间为5min?120min，同时形成p?n结、上下表面钝化层和减反射膜；（3）制备上下电极。