[发明专利]光学超宽带增透膜的复合制作方法

摘要

超宽带增透膜复合工艺方法，包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜；真空蒸镀成膜工艺：准备工作，清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料；抽真空；预热膜料；将膜料气化沉积到所述光学镜片表面；烘烤60分钟；进行氟化镁层蒸镀；在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀，蒸镀的膜层厚度为4纳米；步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺；步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。本发明减少了宽带增透膜的膜层数，拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺，膜层具有良好的疏水性和自清洁性能，有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法，在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。

主权项

一种超宽带增透膜复合工艺方法，其特征在于，包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜两种工艺过程；其中真空蒸镀成膜工艺过程包括以下工作步骤：⑴.准备工作，清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料；⑵.抽真空，对所述真空室进行抽真空；⑶.在300摄氏度的烘烤温度下恒定60分钟；⑷.进行氟化镁层蒸镀，蒸镀的膜层厚度为83纳米；⑸.在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀，蒸镀的膜层厚度为4纳米；⑹.待光学镜片自然冷却后将进一步进行溶胶凝胶成膜工艺过程；其中，溶胶凝胶成膜工艺过程包括以下工作步骤：⑺.制取碱催化溶胶；⑻.真空蒸镀后的光学镜片的洁净处理；⑼.在提拉浸渍镀膜机上成膜；⑽.胶膜的干燥及后处理。