[发明专利]绝缘衬底上厚膜硅材料杨氏模量测试结构有效
| 申请号： | 201510010411.3 | 申请日： | 2015-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN104568606B | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 李伟华;王雷;张璐;周再发 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N3/20 | 分类号： | G01N3/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种绝缘衬底上厚膜硅材料杨氏模量测试结构，用于测量绝缘衬底上厚膜硅材料的杨氏模量。测试结构由三部分组成相对型电热驱动单元；带测微游标的止挡单元；静电驱动的悬臂梁单元。相对型电热驱动单元和带测微游标的止挡单元垂直连接。利用静电力驱动悬臂梁做面内的横向弯曲运动。止挡结构用于控制弯曲量，并用于防止出现吸合而产生的测量不稳定问题。止挡结构的移动由热膨胀驱动结构实现，止挡结构的移动量由游标进行测量。为防止工艺误差导致的位置测不准问题，采用两次测位的方式进行，即第一次热驱动止挡结构接触到悬臂梁，读出游标位置，然后减小驱动电流产生微小的间隙，由游标记录这种间隙即最终的弯曲挠度。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘 衬底 上厚膜硅 材料 杨氏模量 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种绝缘衬底上厚膜硅材料杨氏模量测试结构，其特征在于该测试结构由三部分组成：相对型电热驱动单元(101)；带测微游标的止挡单元(103)；静电驱动的悬臂梁单元(102)；所述带测微游标的止挡单元(103)中的动齿(103‑1)的下端与相对型电热驱动单元(101)中的水平宽梁(101‑15)垂直连接，动齿(103‑1)的轴线和相对型电热驱动单元(101)的中心线重叠；所述静电驱动的悬臂梁单元(102)位于带测微游标的止挡单元(103)的上端，由悬臂梁和静电驱动电极组成，其中，悬臂梁由第三锚区(102‑1)和上水平细梁(102‑2)连接而成，静电驱动电极由锚区(102‑3)和与之连接的电极(102‑4)构成，静电驱动电极位于静电驱动的悬臂梁单元(102)的末端。
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