[发明专利]一种快速限定机台跑货的方法及系统

摘要

本发明提供了一种机台限定跑货的方法及系统，通过在MES系统中设置机台针对lot和/或FOUP的限定，在完成机台常规限定检查工作之后，根据机台信息快速限定当前机台针对lot和/或FOUP所有的限定信息，并根据该限定信息进行依次检查，如果全部满足则允许进入生产，如果不满足则将装载lot的FOUP退出并通知用户，能快速的满足用户的需求，减少了生产过程中潜在的误操作和良率降低的风险，减轻了MES开发的压力，极大提高了生产效率，能够更快响应客户对特殊生产的需求。

主权项

1.一种快速限定机台跑货的方法，应用于MES系统中，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：提供若干机台和若干装载有lot的FOUP，并根据工艺需求于所述MES系统中设置每个机台的常规限定信息及特殊限定信息，且该MES系统中还存储有lot的属性信息、FOUP的属性信息和机台的信息；步骤S2：将所述FOUP运送至一相应机台的预检平台后，进行机台常规限定检查操作；步骤S3：若装载有lot的FOUP不符合所述机台常规限定的条件，则将该装载有lot的FOUP退出，并将另一装载有lot的FOUP运送至该机台，继续步骤S2；若装载有lot的FOUP符合所述机台常规限定的条件，则通过EAP系统获取当前FOUP的属性信息、该FOUP装载的lot的属性信息和当前所述机台的信息，并继续步骤S4；步骤S4：根据当前所述机台的信息调取该机台的特殊限定信息，并根据该特殊限定信息对当前FOUP和/或该FOUP装载的lot进行特殊限定检查操作；步骤S5：若当前FOUP的属性信息和/或该FOUP装载的lot的属性信息均符合该机台的特殊限定信息，则允许所述装载有lot的FOUP进入该机台生产；否则，将所述装载有lot的FOUP退出该机台，并将另一装载有lot的FOUP运送至该机台，继续步骤S2。