[发明专利]带涂膜切削工具的成膜装置及切削工具用涂膜的成膜方法有效
| 申请号： | 201480079906.5 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN106460166B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 河村正雄;须藤俊克;新保谷淳 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;B23P15/28;C23C14/32 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 齐葵;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够以适当的温度条件形成涂膜的带涂膜切削工具的成膜装置。所述成膜装置具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与成膜室连结的预处理室及后处理室、及从预处理室经由成膜室向后处理室输送切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置。所述成膜室具备在切削工具上形成涂膜的成膜区域、沿输送路径输送输送载体并使其通过成膜区域的输送装置、沿载体输送方向与成膜区域相邻配置且对切削工具进行加热的加热区域、及在所述成膜区域与所述真空阀之间收容所述输送载体的载体待机区域。 | ||
| 搜索关键词： | 带涂膜 切削 工具 装置 用涂膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带涂膜切削工具的成膜装置，具备在切削工具上形成涂膜的成膜室、经由真空阀分别与所述成膜室连结的预处理室及后处理室、及从所述预处理室经由所述成膜室向所述后处理室输送所述切削工具的输送路径，且所述成膜装置为使用沿输送方向以竖立姿势配置有支撑所述切削工具的多个杆的输送载体的直列式的成膜装置，其中，/n所述成膜室具备在所述切削工具上形成所述涂膜的成膜区域、沿所述输送路径输送所述输送载体并使其通过所述成膜区域的输送装置、沿载体输送方向与所述成膜区域相邻配置且对所述切削工具进行加热的加热区域、及在所述成膜区域与所述真空阀之间收容所述输送载体的载体待机区域，/n在所述载体输送方向上的所述成膜区域的两侧分别设置有所述加热区域，/n在所述加热区域与所述真空阀之间设置有收容至少一个所述输送载体的载体待机区域。/n
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