[发明专利]用于石墨烯与绝缘体和器件的集成的石墨烯氟化作用有效
| 申请号： | 201480078805.6 | 申请日： | 2014-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN106463478B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | R·考迪罗;U·阿维奇 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01L23/14 | 分类号： | H01L23/14;H01L23/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容的实施例描述了包括氟化的石墨烯的层的多层石墨烯组件、包含这样的结构的管芯和系统、以及制造的方法。氟化的石墨烯向其它石墨烯层提供了绝缘界面，同时维持非氟化的石墨烯层的期望的特性。所述组件为在集成电路器件中利用石墨烯以及将石墨烯与其它材料界面接合提供新的选项。可以描述和/或要求保护其它实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 石墨 绝缘体 器件 集成 氟化 作用 | ||
【主权项】：
一种在集成电路中使用的组件，所述组件包括：包括石墨烯的第一层；以及包括氟化的石墨烯的第二层，所述包括氟化的石墨烯的第二层直接设置在所述包括石墨烯的第一层上。
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