[发明专利]吸嘴清洗装置及吸嘴干燥方法有效
| 申请号： | 201480078049.7 | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN106232247B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 星川和美;下坂贤司 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/304;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在用于对吸嘴(62)进行清洗的吸嘴清洗装置中，朝着吸嘴的前端部喷出的水的喷出方向由套筒(370)的锥状的第二内周面(374)变更。由此，例如，不仅是附着于吸嘴的前端部的下端面的附着物，而且附着于吸嘴的前端部的侧面的附着物也能够接触水，能够从吸嘴适当地除去附着物。而且，在吸嘴清洗装置中，吸嘴在由吸嘴货盘(152)支撑的状态下被清洗，但是在吸嘴清洗后，吸嘴由保持件保持，从吸嘴货盘取出。并且，从吸嘴货盘取出的吸嘴以单件的方式由吸嘴干燥装置进行干燥。由此，能够对清洗后的吸嘴适当地进行干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 干燥 方法 | ||
【主权项】：
一种吸嘴清洗装置，具备：吸嘴支撑件，在清洗箱内，以使吸嘴的前端部露出的状态固定地支撑所述吸嘴；及喷水器，朝着由所述吸嘴支撑件支撑的所述吸嘴的前端部喷水，利用从所述喷水器喷出的水对所述吸嘴进行清洗，所述吸嘴清洗装置的特征在于，所述吸嘴清洗装置具备变更从所述喷水器喷出的水的喷出方向的喷出方向变更机构。
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