[发明专利]透过性评价方法有效
| 申请号： | 201480077969.7 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN106170693B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 铃村浩二;山本和弘;村桥智子 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/06 | 分类号： | G01N27/06;C09J7/30;C09J133/04;C09J163/00;C09J161/06;C09J11/06;C09J11/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周欣;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种透过性评价方法，其是评价重金属离子相对于试验片的透过性的透过性评价方法，其具备在含有重金属离子的第1液与含有水及有机溶剂的第2液介由试验片而隔开的状态下，在设置于上述第1液侧的阳极与设置于上述第2液侧的阴极之间施加电压并测定在上述阳极与上述阴极之间流过的电流值的工序，上述试验片含有在半导体制造中使用的绝缘材料，上述第1液的重金属离子浓度为0.5mg/kg以上。 | ||
| 搜索关键词： | 透过 评价 方法 | ||
【主权项】：
一种透过性评价方法，其是评价重金属离子相对于试验片的透过性的透过性评价方法，其具备以下工序：在含有重金属离子的第1液与含有水及有机溶剂的第2液介由试验片而隔开的状态下，在设置于所述第1液侧的阳极与设置于所述第2液侧的阴极之间施加电压并测定在所述阳极与所述阴极之间流过的电流值的工序，所述试验片含有在半导体制造中使用的绝缘材料，所述第1液的重金属离子浓度为0.5mg/kg以上。
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