[发明专利]太阳能电池处理系统、传送带系统、太阳能电池生产装置和方法在审
申请号: | 201480075857.8 | 申请日: | 2014-02-20 |
公开(公告)号: | CN106062974A | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | D·皮佐拉托;D·安德瑞欧拉 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | 提供一种用于生产太阳能电池的处理系统。所述处理系统包括传送带系统。传送带系统包括用于输送太阳能电池晶片的传送带。另外,处理系统包括激光单元,所述激光单元配置成在由传送带输送太阳能电池晶片期间将激光束引导到太阳能电池晶片上。另外,提供一种在太阳能电池的生产中使用的传送带系统,所述传送带系统包括:支撑表面,在所述支撑表面中具有若干开孔;传送带,在所述传送带中具有若干开孔;以及第一负压回路,所述第一负压回路连接至所述支撑表面中的所述多个开孔中的至少部分。另外,提供一种用于生产太阳能电池的方法。所述传送带系统包括:输送太阳能电池晶片;以及在输送期间,将激光束引导至所述太阳能电池晶片。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 处理 系统 传送带 生产 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种用于生产太阳能电池的处理系统(100),所述处理系统包括:a.传送带系统(20),所述传送带系统包括用于输送太阳能电池晶片(21)的传送带(50);以及b.激光单元(15),所述激光单元(15)配置成在由所述传送带(50)输送所述太阳能电池晶片(21)期间将激光束(18)引导到所述太阳能电池晶片上。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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