[发明专利]用于微机械传感器元件的、具有减振元件的壳体有效
申请号: | 201480075720.2 | 申请日: | 2014-12-22 |
公开(公告)号: | CN106029553B | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | U·汉森 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 用于微机械传感器元件(10)的壳体(100),具有:‑空腔(30),所述传感器元件(10)能布置在该空腔中;‑和减振元件(20),其中,所述微机械传感器元件(10)在所述空腔(30)中能借助所述减振元件(20)这样固定,使得所述减振元件(20)和所述传感器元件(10)共同具有一个基本上共同的质心。 | ||
搜索关键词: | 用于 微机 传感器 元件 具有 壳体 | ||
【主权项】:
1.一种用于微机械传感器元件(10)的壳体(100),具有:‑空腔(30),所述传感器元件(10)能布置在所述空腔中,‑和减振元件(20),其中,所述微机械传感器元件(10)在所述空腔(30)中能借助所述减振元件(20)这样固定,使得所述减振元件(20)和所述传感器元件(10)共同具有一个基本上共同的质心。
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