[发明专利]利用具有混合振动和摆动操作的移动敏感元件的传感器以及控制这样的传感器的方法

摘要

本发明涉及传感器，包括台架；沿传感轴可移动的第一主体；相对于所述第一主体沿传感轴对称安置的两对第二主体；用于检测第一主体相对于台架的位置、沿振动轴振动所述第二主体并检测所述第二主体的振动频率的换能器；以及用于将每个第二主体表面静电耦合连接到第一主体的装置，以便第一主体沿传感轴相对于台架的移动分别导致所述第二主体对的一个第二主体对和另一个第二主体对的静电力矩的增加和减少。本发明还涉及用于控制这样的传感器的方法。

主权项

一种传感器，包括：台架(1)；通过第一悬挂装置(5)被连接到所述台架以沿传感轴(X)可移动的第一主体(4)，所述第一悬挂装置(5)限定了悬挂平面(P)；围绕所述第一主体沿所述传感轴对称安置的两个谐振器(10.1,10.2)并且每个谐振器包括一对第二主体(11.1,12.1,11.2,12.2)，每个所述第二主体通过第二悬挂装置(13.1,13.2)被连接到所述台架以便能够沿基本上垂直于所述传感轴的振动轴(Y.1,Y.2)振动，并且所述第二主体通过第三悬挂装置(14.1,14.2)彼此相连；被连接到控制单元(8)的换能器构件(9,17.1,17.2)，用于检测所述第一主体相对于所述台架的位置，用于将所述第二主体设定为沿所述振动轴振动，并用于检测所述第二主体的相应的振动频率；以及以这样的方式将每个第二主体连接到所述第一主体的表面静电耦合装置(18.1,18.2)：所述第一主体沿所述传感轴相对于所述台架的移动导致所述两个谐振器中的一个谐振器中包括的那对第二主体的静电耦合增加，且所述两个谐振器中的另一谐振器中包括的那对第二主体的静电耦合减少。