[发明专利]带电粒子束装置、图像生成方法、观察系统

摘要

本发明提供一种能够简便地进行样本内部和表面的观察的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在以下模式下动作根据来自通过被照射透射了样本(6)的内部的透射带电粒子而发光的发光构件(500)的光的检测信号(512)生成透射带电粒子图像的透射带电粒子图像模式；根据因来自样本(6)的二次带电粒子(517)或反射带电粒子而产生的检测信号(518)生成二次带电粒子图像的二次带电粒子图像模式。

主权项

一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子光学镜筒，其向样本照射一次带电粒子束；样本架，其可装卸地配置通过照射透射了上述样本的内部的透射带电粒子而发光的发光构件或具有该发光构件的样本台；检测器，其检测来自上述样本的信号；以及控制部，其在以下的模式下控制上述检测器：根据来自上述发光构件的光的检测信号而生成透射带电粒子图像的透射带电粒子图像模式；根据因来自上述样本的二次带电粒子或反射带电粒子所产生的检测信号而生成二次带电粒子图像的二次带电粒子图像模式，通过同一检测器检测因来自上述发光构件的光和来自上述样本的二次带电粒子或反射带电粒子而产生的检测信号。