[发明专利]形状测定装置、形状测定方法及玻璃板的制造方法有效
申请号: | 201480071278.6 | 申请日: | 2014-12-22 |
公开(公告)号: | CN105849503B | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 大音仁昭;菅原彰;有田祐介;池野田稔 | 申请(专利权)人: | AGC株式会社 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25;C03B25/08 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 赵晶;高培培 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 测定装置具备:拍摄透明的被测定物的表面及背面处的预定图案的反射像的摄像部;使用摄像部拍摄到的反射像,算出表面或背面的厚度方向的位置的运算部。预定图案包括多个要素,该多个要素的各要素的沿着与该图案的延伸方向垂直的方向形成的一端和另一端沿该延伸方向相互偏离。 | ||
搜索关键词: | 形状 测定 装置 方法 玻璃板 制造 | ||
【主权项】:
1.一种形状测定装置,其特征在于,具备:预定图案,配置在与作为透明的平板的被测定物相对的一方或另一方;摄像部,构成为所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的各自的反射像在与所述预定图案的延伸方向垂直的分离方向上分离,通过拍摄所述被测定物的表面及背面的所述预定图案的反射像而生成包括所述表面及背面各自的反射像的图像;运算部,基于所述被测定物、所述预定图案、所述摄像部的位置关系,从所述摄像部拍摄到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的倾斜角度;及决定部,基于所算出的所述倾斜角度来决定所述表面和所述背面中的至少一方的形状,所述预定图案包括多个要素,所述多个要素的各要素的在与所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏离。
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