[发明专利]蓝宝石单晶培养用坩锅、蓝宝石单晶培养方法和蓝宝石单晶培养用坩锅的制造方法有效
申请号: | 201480070900.1 | 申请日: | 2014-12-25 |
公开(公告)号: | CN105849322B | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 板仓刚;中林诚治;角仓孝典;森川达矢;泷田朋广;池谷明彦 | 申请(专利权)人: | 联合材料公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C25D3/66;C25D5/28;C25D7/00;C30B11/00;C30B15/10;F27B14/10 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 庞东成;孟伟青 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的课题在于提供一种为了得到蓝宝石单晶而进行了最佳化的蓝宝石单晶培养用坩锅。本发明的蓝宝石单晶培养用坩锅(1)具有以钼为主成分的坩锅形状的母材(3)和涂布层(5),该涂布层(5)为镀覆层,设于母材(3)的至少内周(3a),含有钨和不可避免的杂质,氧浓度小于0.1质量%。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 培养 用坩锅 方法 制造 | ||
【主权项】:
1.一种蓝宝石单晶培养用坩埚 ,其具有以钼为主成分的坩埚 形状的母材、以及镀覆层,该镀覆层设于所述母材的至少内周,由钨和不可避免的杂质形成且氧浓度小于0.1质量%,所述镀覆层的空隙率为5%以下、表面粗糙度Ra为0.03μm以上且小于20μm。
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