[发明专利]具有至少一个温度传感器的电容式压力测量单元有效
| 申请号： | 201480070088.2 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN105917204B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 马丁·布加德;武尔费特·德鲁斯;尼尔斯·波纳特;安德烈亚斯·罗斯贝格;托马斯·尤林 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;金洁 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种压力传感器包括操作电路和压力测量单元，压力测量单元(1)包括台面体(3)，测量隔膜(2)，其设置在台面体(3)上并通过待测量的压力而变形，以及电容式变送器，其具有至少一个设置在测量隔膜上的隔膜电极(7)以及至少一个设置在台面体(3)上的台面体电极(8，9)，其中隔膜电极(7)和台面体电极(8，9)之间的电容取决于测量隔膜依赖压力的变形，其中至少隔膜电极(7)具有依赖温度的阻抗，其中操作电路设计为检测所述至少一个台面体电极和所述至少一个隔膜电极之间的至少一个电容以及提供基于至少一个电容的压力测量值，以及确定隔膜电极的阻抗，特别是隔膜电极阻抗的欧姆部分。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 至少 一个 温度传感器 电容 压力 测量 单元 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括：操作电路；以及带有台面体(3)的压力测量单元(1)；测量隔膜(2)，其设置在所述台面体(3)上并通过待测量的压力是可变形的；以及电容式变送器，其具有设置在所述测量隔膜上的隔膜电极(7)以及至少一个设置在所述台面体(3)上的台面体电极(8，9)，其中所述隔膜电极(7)覆盖测量隔膜的面对所述台面体(3)的整个表面；其中所述隔膜电极(7)和所述台面体电极(8，9)之间的电容取决于所述测量隔膜的依赖压力的变形，其中至少所述隔膜电极(7)具有依赖温度的阻抗；其中所述操作电路设计为采集所述至少一个台面体电极和所述隔膜电极之间的至少一个电容以及提供基于至少一个电容的压力测量值，同时确定所述隔膜电极的阻抗。
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