[发明专利]激光加工装置及激光加工方法在审
| 申请号： | 201480068854.1 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105829012A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 中川清隆;藤田善仁;山下贡丸 | 申请（专利权）人： | 三菱重工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/08;G02B7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 赵晶;高培培 |
| 地址： | 日本，*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 激光加工装置具备：第一光学系统(100)，包括第一棱镜(101)及第二棱镜(102)；第二光学系统(200)，包括第三棱镜(201)及第四棱镜(202)；聚光光学系统(80)，对激光束进行聚光而向加工对象物引导；第一驱动装置(105)，使第一棱镜旋转，并且与第一棱镜同步地使第二棱镜旋转；第二驱动装置(205)，使第三棱镜旋转，并且与第三棱镜同步地使第四棱镜旋转；及控制装置(24)，以使激光束一边回转一边向加工对象物照射的方式控制第一驱动装置及驱动装置，控制装置调整关于旋转方向的第一棱镜与第二棱镜的相对位置、及第三棱镜与第四棱镜的相对位置，来调整包括激光束相对于加工对象物的入射位置及入射角度在内的激光束的照射条件，由此高品质且高精度地对加工对象物进行加工。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，利用激光束对加工对象物进行加工，所述激光加工装置具备：第一光学系统，包括第一棱镜及第二棱镜，且被供给来自激光光源的所述激光束；第二光学系统，包括第三棱镜及第四棱镜，且被供给来自所述第一光学系统的所述激光束；聚光光学系统，被供给来自所述第二光学系统的所述激光束，对所述激光束进行聚光而向所述加工对象物引导；第一驱动装置，使所述第一棱镜旋转，并且与所述第一棱镜同步地使所述第二棱镜旋转；第二驱动装置，使所述第三棱镜旋转，并且与所述第三棱镜同步地使所述第四棱镜旋转；及控制装置，以在所述聚光光学系统的光轴的周围使所述激光束一边回转一边向所述加工对象物照射的方式控制所述第一驱动装置及第二驱动装置，所述控制装置调整关于旋转方向的所述第一棱镜与所述第二棱镜的相对位置、及所述第三棱镜与所述第四棱镜的相对位置，调整包括所述激光束相对于所述加工对象物的入射位置及入射角度在内的所述激光束的照射条件。
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