[发明专利]基于板条的化学浴沉积设备

摘要

提供用于由板条上的流体混合物形成层的方法和系统。所述系统包含用于将所述流体混合物输送到所述板条上的流体输送设备。所述流体输送设备包含级联装置和化学物质分配器装置。所述系统还包含流体搅拌设备，其包括至少一个风扇，所述至少一个风扇定位在所述板条上方且经配置以产生流型，所述流型在形成所述层时搅拌所述板条上的所述流体混合物，而不使所述至少一个风扇接触所述流体混合物。所述系统进一步包含具有冲洗装置和抽吸装置的流体去除设备。所述冲洗装置经配置以将冲洗流体分配到所述板条上。所述抽吸装置经配置以通过抽吸来去除所述冲洗流体和在形成所述层之后所述流体混合物的剩余在所述板条上的剩余部分。

主权项

一种用于由板条上的流体混合物形成层的系统，所述系统包括：流体输送设备，其用于将所述流体混合物输送到所述板条上，所述流体输送设备包括级联装置和化学物质分配器装置，其中：所述级联装置具有上层、定位在所述板条上方的下层，在所述上层和所述下层之间的多个梯级，且经配置以振动，以及所述化学物质分配器装置经配置以将所述流体混合物中的第一流体的流和所述流体混合物中的第二流体的流分配到所述级联装置的所述上层上，使得(i)所述第一和第二流体沿所述梯级落至所述下层且落到所述板条上，且(ii)所述第一和第二流体在到达所述板条之前通过所述级联且通过所述级联装置的振动而至少部分混合；流体搅拌设备，其包括至少一个风扇，所述风扇定位在所述板条上方且经配置以产生流型，所述流型在形成所述层时搅拌所述板条上的所述流体混合物，而不必使所述至少一个风扇接触所述流体混合物；以及流体去除设备，其包括冲洗装置和抽吸装置，其中：所述冲洗装置经配置以将冲洗流体分配到所述板条上，以及所述抽吸装置经配置以通过抽吸来去除所述冲洗流体和在形成所述层之后所述流体混合物的剩余在所述板条上的剩余部分。