[发明专利]在缓冲层沉积期间的溶液遏制有效
| 申请号： | 201480068296.9 | 申请日： | 2014-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN105980067B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·S·布里特;斯科特·奥尔布赖特;乌尔斯·朔普;沃尔特·施托斯;达伦·韦赖贝伊 | 申请（专利权）人： | 环球太阳能公司 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;郑霞 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于在基底幅材上形成硫属化物的薄膜层的改进的方法和装置。包含硫属化物层的反应物的溶液可实质上被遏制到幅材的前表面，控制反应的边界并避免了硫属化物在背侧上的不希望有的沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 沉积 期间 溶液 遏制 | ||
【主权项】：
1.一种将薄膜硫属化物缓冲层沉积到柔性基底上的方法，包括：在没有使用在幅材下面的输送辊的情况下通过在布置在沉积区内的支承表面上滑动薄膜基底材料的幅材来经过所述沉积区输送所述幅材；将含金属的溶液和含硫属元素的溶液分配到所述幅材的顶表面上，所述含金属的溶液包含从由铜、银、金、锌、镉、汞、铅、硼、铝、镓、铟和铊组成的组中选择的金属，以及所述含硫属元素的溶液包含从由氧、硫、硒和碲组成的组选择的硫属元素；相对于所述幅材的中心部分提升所述幅材的横向边缘部分，以将所述含金属的溶液的至少一部分和所述含硫属元素的溶液的至少一部分实质上遏制在所述幅材的所述顶表面上；使用布置在所述幅材的所述中心部分之下的固定位置中的多个磁铁来保持所述幅材的所述中心部分实质上平坦；以及提供在所述支承表面的至少部分和所述幅材之间的液体静力支承表面。
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