[发明专利]负型感光性树脂组合物有效
| 申请号: | 201480065093.4 | 申请日: | 2014-10-20 |
| 公开(公告)号: | CN105765458B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
| 发明(设计)人: | 内山芽育;菅野裕太;石田智久;畑中真 | 申请(专利权)人: | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;G02F1/1333;G03F7/004;G03F7/028;G03F7/033 |
| 代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 黄媛;段承恩 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供一种负型感光性树脂组合物,其固化速度增大,即使为15μm以上的膜厚也能够利用从基材的背面曝光使涂膜表面充分地固化,可以形成微细的透明结构体。作为解决本发明课题的方法为含有(A)成分、(B)成分、(C‑1)成分、(C‑2)成分和(D)成分的感光性树脂组合物。(A)成分:碱溶性共聚物,(B)成分:具有2个以上选自丙烯酸酯基、甲基丙烯酸酯基、乙烯基和烯丙基中的至少1种聚合性基团的化合物,(C‑1)成分:具有肟酯基、且365nm时的甲醇中或乙腈中的吸光系数为5,000ml/g·cm以上的光引发剂,(C‑2)成分:365nm时的甲醇中或乙腈中的吸光系数为100ml/g·cm以下的光引发剂,(D)成分:溶剂。 | ||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其含有下述(A)成分、(B)成分、(C‑1)成分、(C‑2)成分和(D)成分,(A)成分:碱溶性共聚物,(B)成分:具有2个以上选自丙烯酸酯基、甲基丙烯酸酯基、乙烯基和烯丙基中的至少1种聚合性基团的化合物,(C‑1)成分:具有肟酯基、且365nm时的甲醇中或乙腈中的吸光系数为5,000ml/g·cm以上的光引发剂,(C‑2)成分:365nm时的甲醇中或乙腈中的吸光系数为100ml/g·cm以下的光引发剂,(D)成分:溶剂。
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