[发明专利]溅射装置和溅射装置的维护方法在审
| 申请号： | 201480054423.X | 申请日： | 2014-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN105593395A | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 梨木智刚;滨田明 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在溅射装置的靶材更换、阴极清扫过程中，能够两个人以上同时进行作业，无需高处作业且以靶材朝上的状态更换靶材。使阴极台车(19)移动而将靶材(17)和阴极(18)取出到真空槽(11)外。使阴极旋转机构(24)工作而以使靶材(17)朝上的方式使靶材(17)和阴极(18)旋转。使阴极滑动机构(25)工作而使高处的靶材(17)和阴极(18)向低处移动。将旧的靶材(17)从阴极(18)拆下来，并且将新的靶材(17)安装到阴极(18)。使靶材(17)和阴极(18)返回到原来的高度。使靶材(17)和阴极(18)沿着原来的方向返回。使靶材(17)和阴极(18)返回到真空槽(11)内。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 维护 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射装置，其中，其具有：真空槽；成膜辊，其配置于所述真空槽内；靶材，其与所述成膜辊相对；阴极，其用于支承所述靶材；阴极台车，其用于支承所述靶材和阴极；阴极旋转机构，其设置于所述阴极台车，将所述靶材和阴极支承为能够以所述靶材的长度方向为旋转轴线进行旋转；阴极滑动机构，其设置于所述阴极台车，以使所述阴极旋转机构的高度能够改变的方式支承所述阴极旋转机构；引导部件，其用于支承并引导所述阴极台车而使所述阴极台车能够移动。
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