[发明专利]对基板进行的空间有限的加工在审
| 申请号： | 201480053277.9 | 申请日： | 2014-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN105592944A | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 奥斯卡·狄格瑞;格雷戈里·奈特;迈克尔·伯格曼 | 申请（专利权）人： | 贝克太阳能有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 刘华联;张少辉 |
| 地址： | 美国佛*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种化学加工方法，包括：使基板材料从第一传输输送装置经过流体贮存器传递到第二传输输送装置，使得基板的第一表面与贮存器内的流体相接触，并使得基板的第二表面大体上不与贮存器内的流体相接触，并且第一和第二传输输送装置大体上位于贮存器的外部。 | ||
| 搜索关键词： | 进行 空间 有限 加工 | ||
【主权项】：
1.化学加工装置，包括：具有第一边缘和第二边缘的贮存器；邻近所述第一边缘设置的第一输送装置；以及邻近所述第二边缘设置的第二输送装置，使得所述第一边缘和第二边缘设置在所述第一输送装置和第二输送装置之间，所述第二输送装置适于收集并支撑来自所述第一输送装置的基板材料，从而在所述基板材料从所述第一输送装置传递到所述第二输送装置期间，所述基板材料的一个表面与设置在所述贮存器内的流体材料相接触，而所述基板材料的另一个表面保持基本上没有接触到所述流体材料。
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