[发明专利]螺纹槽泵机构、使用该螺纹槽泵机构的真空泵、及用于前述螺纹槽泵机构的转子、外周侧定子及内周侧定子

摘要

本发明提供一种螺纹槽泵机构、使用该螺纹槽泵机构的真空泵、及用于前述螺纹槽泵机构的转子、外周侧定子及内周侧定子，所述螺纹槽泵机构抑制螺纹槽泵机构内的气体的逆流，并且减少螺纹槽泵机构的出口附近的泵径向上的压力差，使螺纹槽泵机构的排气性能及压缩性能提高。螺纹槽泵机构（PB）在外周侧螺纹槽部（71）和内周侧螺纹槽部（81）上具备排气性能提高机构，所述外周侧螺纹槽部（71）被刻设于外周侧定子（70）的相对于转子圆筒部（45）的对置面，所述内周侧螺纹槽部（81）被刻设于内周侧定子（80）的相对于转子圆筒部（45）的对置面。

主权项

1.一种并行流型真空泵，前述并行流型真空泵具有转子、旋转翼、固定翼、转子圆筒部、外周侧定子、内周侧定子、外周侧螺纹槽部、内周侧螺纹槽部，前述转子能够在既定的旋转方向上旋转，前述旋转翼设置于前述转子，前述固定翼在前述旋转翼之间隔开间隙地配置，前述转子圆筒部设置于前述转子的下部，前述外周侧定子在该转子圆筒部的外周侧配置成与前述转子圆筒部同轴，前述外周侧定子为大致圆筒状，前述内周侧定子在前述转子圆筒部的内周侧配置成与前述转子圆筒部同轴，前述内周侧定子为大致圆筒状，前述外周侧螺纹槽部被刻设于前述转子圆筒部及前述外周侧定子的对置面的某一个上，前述内周侧螺纹槽部被刻设于前述转子圆筒部及前述内周侧定子的对置面的某一个上，其特征在于，设定成前述外周侧螺纹槽部的排气侧压力与前述内周侧螺纹槽部的排气侧压力大致相等，前述转子圆筒部设置于转子上，前述内周侧螺纹槽部的谷宽和在前述内周侧螺纹槽部之间延伸地设置的内周侧螺纹突条部的峰宽的比设定成，比前述外周侧螺纹槽部的谷宽和在前述外周侧螺纹槽部之间延伸地设置的外周侧螺纹突条部的峰宽的比小。