[发明专利]制造具有均匀磷浓度的硅锭的方法有效
| 申请号： | 201480051385.2 | 申请日： | 2014-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN105579623B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 珍-保罗·格朗代;马莱克·邦曼苏尔;阿妮斯·茹安;大卫·佩尔蒂埃 | 申请（专利权）人： | 原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;杨生平 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造具有均匀磷浓度的硅锭的方法。所述方法至少包括以下步骤：(i)提供至少包含磷的拟均匀的熔融硅浴；和(ⅱ)进行硅的定向凝固，控制用于凝固硅的速度(VI)和在所述浴的液/汽界面磷的蒸发速率(JLV)，使得在定向凝固的每一时刻证实以下方程：VI＝k’/(2‑k)(E)，其中k’为磷转移系数，和k为磷在硅中的分配系数。本发明还涉及一种跨越至少20cm的高度具有均匀磷浓度的硅锭。 | ||
| 搜索关键词： | 硅锭 定向凝固 分配系数 熔融硅 制造 蒸发 凝固 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造具有均匀磷浓度的硅锭的方法，至少包括在于以下的步骤：(i)提供至少包含磷的几乎均匀的熔融硅浴；和(ⅱ)进行硅的定向凝固，控制硅的凝固速度(VI)和所述浴的液‑汽界面处磷的蒸发速率(JLV)，使得在定向凝固的每一时刻证实以下方程：VI＝k’/(2‑k) (E)k’代表磷转移系数，和k代表磷在硅中的分配系数。
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