[发明专利]研磨工具、研磨方法和研磨装置在审
| 申请号: | 201480049917.9 | 申请日: | 2014-10-01 |
| 公开(公告)号: | CN105531084A | 公开(公告)日: | 2016-04-27 |
| 发明(设计)人: | 萩原弦一郎 | 申请(专利权)人: | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号: | B24D7/00 | 分类号: | B24D7/00;B24B13/02 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;于英慧 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 提供能够在利用已有的研磨装置的同时,提高被研磨物的面精度的研磨工具、研磨方法和研磨装置。本发明的研磨工具的特征在于,具备:研磨面(3b),其具有规定的曲率半径;以及空孔(3c),其在研磨面(3b)的内侧,以旋转轴为中心,在与旋转轴垂直的投影面上,与研磨面(3b)的外缘呈同心圆状,研磨面(3b)呈球带状,研磨面(3b)的外径(Dg)与内径(Dn)之比大于1.0且小于等于6.0。 | ||
| 搜索关键词: | 研磨 工具 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种研磨工具,其特征在于,该研磨工具具备:研磨面,其具有规定的曲率半径;以及空孔,其在所述研磨面的内侧,以旋转轴为中心,在与旋转轴垂直的投影面上,与所述研磨面的外缘呈同心圆状,所述研磨面呈球带状,所述研磨面的外径与内径之比大于1.0且小于等于6.0。
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