[发明专利]低偏移和高灵敏度垂直霍尔效应传感器

摘要

提供一种具有在其偏置模式之间高度对称性的垂直霍尔效应传感器，其可适配为展现小的预‑自旋对称偏移，并且符合制造技术(例如CMOS)允许的内接触部之间的最小间距要求。这些特性使得垂直霍尔效应传感器能够具有关于偏移和灵敏度的最优性能。

主权项

一种垂直霍尔效应传感器，包括：霍尔效应设备，包括：衬底，具有顶表面和顶表面之下的第一导电率类型的区域；导电井，嵌入所述区域中并且具有第二导电率类型；第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、以及第八欧姆接触部，在导电井内的行中被依次布置并且彼此分隔开，所述行通常平行于所述顶表面，第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、以及第八欧姆接触部中的每一个具有与井的导电率不同的导电率；电压测量设备，包括四个输入端子；开关设备，配置为连接到偏置源并且包括：四个输出端子，其分别电连接到开关设备的四个输入端子；以及第一、第二、第三、第四、，第五、和第六输入端子；其中第一和第六欧姆接触部彼此电连接且电连接到开关设备的第五输入端子，其中第三和第八欧姆接触部彼此电连接且电连接到开关设备第二输入端子，其中第二欧姆接触部电连接到开关设备的第一输入端子，其中第四欧姆接触部电连接到开关设备的第三输入端子，其中第五欧姆接触部电连接到开关设备的第四输入端子，其中第七欧姆接触部电连接到开关设备的第六输入端子，其中开关设备包括多种操作模式，并且其中在每一种操作模式下，开关设备配置为将从开关设备的第一、第二、第三、第四、第五和第六输入端子选择的两个输入端子分别电连接到偏置源和地，并且将开关设备剩余的不连接到偏置源和地的四个输入端子分别经由开关设备的四个输出端子电连接到电压测量设备的四个输入端子。