[发明专利]带电粒子束装置以及试样图像取得方法

摘要

在带电粒子光学系统与试样之间设置了带电粒子束可透射的隔膜的带电粒子束装置中，在试样存在凹凸的情况下，也防止试样与隔膜的接触。根据从检测器(3)输出的检测信号或根据该检测信号生成的图像，监视试样(6)与隔膜(10)的距离，上述检测器(3)检测通过照射初级带电粒子束从试样(6)放出的次级带电粒子。

主权项

一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子光学镜筒，其在试样上照射初级带电粒子束；壳体，其形成该带电粒子束装置的一部分，内部通过真空泵进行真空排气；隔膜，其能够维持上述真空排气的空间与配置上述试样的空间的差压，并且使上述初级带电粒子束透射或通过；检测器，其检测通过向上述试样照射上述初级带电粒子束而得到的次级带电粒子；距离调整机构，其使上述试样与上述隔膜的距离可变；控制部，其基于从上述检测器输出的检测信号或根据该检测信号生成的图像，监视上述试样与上述隔膜的距离；以及照射能量控制部，其使上述初级带电粒子束向上述试样的照射能量可变为至少两个以上的条件，控制部根据以第一照射能量照射了上述初级带电粒子束时的检测信号的亮度信息或分辨率信息或根据该检测信号生成的图像的亮度或分辨率，检测上述试样与上述隔膜的距离成为能够识别试样图像的距离或比能够识别试样图像的距离近，控制部在检测到上述试样与上述隔膜的距离成为能够识别试样图像的距离或比能够识别试样图像的距离近之后，根据通过上述照射能量控制部以第二照射能量照射上述初级带电粒子束而从上述试样得到的检测信号取得上述试样的图像，上述第二照射能量比上述第一照射能量高。